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고압 제트 세척기에 변하는 신형 세척기 |
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다이렉트 드라이브 펄스 청소기 DDPC 장비 세트 입례 |
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◆ 초음파 세척 및 브러쉬 세척 중간 영역의 세척 소유량에서 세정력을 발휘 (최소 : 1Gun 당 200ml / min)
・단차, 들어간 보조개 미소 구멍 등의 더러움에 적합합니다.
・분사 노즐의 연장이나 90도 벤딩이 가능하다.
・다 관절 로봇과 함께 인간의 움직임에 가까운 세척이 가능하다.
・매엽 후프 라인에 통합이 용이하다. |
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장비 세트 입례 |
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● 유리 기판 세척기 (세례 성막 전, 포토 씻고 포장 후) |
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【용도】 |
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· FPD 신청 전에 성막 전에 세척 FPD 현상 · 에칭 · 박리 후 세정 · 슬리밍 후 세척 필름 세척 플렉서블 기판 세척 PCB 에칭 · 박리 후 세척
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● 필름 · 플렉서블 기판 세척기 |
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【사양】 |
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· 반송 속도 : 4m / min
・세척 압력 : 10 ~ 12MPa
・유량 : 0.1ml / mi ~ (1Gun 당) |
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● 다 간접 로봇 세척기 |
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【특징】 |
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· 간이 방수 형 다 간접 로봇 (6 축 탑재)
・인간의 팔의 움직임에 가까운 세정이 가능 프로그램에 의한 복잡한 형상의 세정에 대응 세정 수가 200ml / min와 적은 양에 의한 세정 |
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【용도】 |
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・반도체 용 지그 세척 (테프론 PP · 알루미늄 등 각종 카세트 BOX)
・입체 구조를 한 세정 물 |
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