LCD 웨이퍼 기판의 매엽 세정 특수 반사 방식으로 렌즈 샤워 방식에 비해 구조가 간단하고 세척 효율이 높은
■ 특징
● 기존의 US 샤워에 비해 약 5 배의 초음파 강도 (당사 대비)를 얻을 수 세정 효과가 크게 향상되었습니다. ● 매 엽식 LCD 세정 장치에 임베디드 뒷면 세척이 가능하다. ● 0.2μm 이하의 입자를 메가 소닉 제거하고 초정밀 세척이 가능하다. ● 고주파 (950kHz)에서 피 세정 물에 손상이 극히 적다.
메가 소닉 US 샤워 스펙
항목
사양
형명
6879BK
7979BK
78BK30-660
허용 입력
600W
900W
1200W
공칭 공진 주파수
950kHz
유효 세척 치수
330mm
495mm
660mm
소요 수량
20 ~ 25㍑ / 분
20 ~ 30㍑ / 분
40 ~ 45㍑ / 분
케이스 재질
SUS316L
진동판 재질
SUS316L
접액부
복합 전해 연마 처리
최고 사용 온도
70 ℃
코드 길이
진동자 용 : 5M2 개
진동자 용 : 5M3 개
진동자 용 : 5M4 개
센서 : 5M1 개
센서 : 5M1 개
센서 : 5M2 개
보호 회로
액면 센서 (테프론)
FU93 (키엔스)
무게
5㎏
6㎏
7㎏
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