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고주파 초음파 세척기 |
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메가 소닉 세정 (하이 메가 소닉) |
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750kHz / 950kHz |
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Si 웨이퍼, GaAs 등의 세정 액정 유리 청소 유리 마스크의 세정 하드 세척 수정 진동자 세척 박막 자기 헤드 세척 취성 재료 등의 세정 기타 초정밀 세척 |
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◆ 반도체 나 액정 등에 요구되는 45nm 이하의 초미립자를 하이
메가가 제거 ◆ |
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■ 특징 |
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메가 소닉 세정은 초정밀 세정에 위력을 발휘하는 고주파 세척기입니다.
반도체 웨이퍼와 LCD, HDD 등의 초미립자의 제거에 사용 받고 있습니다.
고주파 (750kHz, 950kHz)의 메가 소닉 세정은 주로 가속도로 세척합니다.
따라서 공동 현상이 거의 발생하지 않습니다. 캐비테이션에 의한 에로 존 (데미지)와 정재파에 의한 세정 얼룩의 해결에 유효합니다. |
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■ 발진기 특징 |
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● 0.1W 전력 설정 가능. 높은 전력 안정성을 실현.
메이지 레스 세척 용 정밀 출력 제어 쉽게!
(200kHz 이상 지원)
● 4 종류의 특수 발진 모드 선택에 따라 기존보다 고정밀 도로 정밀 세정이 가능
● 시운전시 · 시립 낮추시의 속도를 설정 가능
● QUAVA 시리즈는 하이 메가 소닉 시리즈와 호환 발진기의 입체로 세척 성능 UP이 가능하다.
● 구 하이 메가 78101 형에 비해 81 % 소형화, 무게도 17kg으로 경량화!
● 사이즈는 19 인치 랙에 수납 할 수있는 규격화 된 크기
● 진동자 교환시의 조정은 원칙 불필요 (매칭 레스)
● 용 힘은 프리 전원 방식이기 때문에 공장의 전원 전압 변동 등에 좌우되지 않습니다
● 10 종류의 주파수에 대응하고 있기 때문에 나중에 진동자를 교환하는 것으로,
주파수 변경이 가능하다.
대응 주파수 : 26kHz / 38kHz / 78kHz / 100kHz / 130kHz /
160kHz / 200kHz / 430kHz / 750kHz / 950kHz |
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■ 발진기 스펙 |
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항목 |
사양 |
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정격 출력 |
1200W ※ |
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발진 주파수 |
26kHz / 38kHz / 78kHz / 100kHz / 130kHz / 160kHz / 200kHz / 430kHz / 750kHz / 950kHz
(진동자의 선택으로 변경) |
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발진 모드 |
PLL 발진 / 고정 발진 / A 모드 발진 / B 모드 발진 |
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전원 |
전류 |
10A |
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전압 |
AC200V ~ AC240V (± 10 % 1Φ 50 / 60Hz) |
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외형 치수 |
430 (W) × 418 (D) × 148 (H) |
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무게 |
17Kg |
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주요 기능 |
원격 모드 |
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8 단계 출력 |
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RS485 통신 |
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이상 출력 단자 |
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아날로그 출력 (출력 모니터링)
0-5V (표준 설정) or 4-20mA (출하시 전환 가능) |
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※ 참고 : 26kHz, 38kHz의 정격 출력은 600W입니다. |
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사양 |
웨이퍼 6
진동판 사양 |
웨이퍼 8
진동판 사양 |
웨이퍼 12
진동판 사양 |
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형명 |
7857S 형 |
8857S 형 |
98SL 형 |
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허용 입력 |
300Wx4 |
300Wx6 |
300Wx16 |
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주파수 |
950kHz |
950kHz |
750kHz |
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진동 복사면 (mm) |
136x163 |
165x215 |
275x319 |
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진동판 재질 |
SU316L |
SU316L |
SU316L |
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진동 체 |
PZT |
PZT |
PZT |
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최고 사용 온도 |
70 ℃ |
70 ℃ |
70 ℃ |
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외형 치수
(WxDxHmm) |
185x215x55 |
255x305x55 |
410x340x65 |
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설치 방법 |
볼트 고정 |
볼트 고정 |
볼트 고정 |
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■ 진동판 특징 |
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● 진동 소자가 대형 P. Ｚ． Z. T 진동 소자이므로 세척 얼룩이 없습니다.
● 파워 밀도가 매우 높고, 세정 능력이 우수합니다. (최대 약 5.4W / ㎝ 2)
● 판 두께가 두껍고, 기계적 강도가 우수하여 수명이기 때문에, 세 정조의 임베디드도 안심입니다.
● 음향 적 손실이 거의없이 고효율입니다.
● 소자의 이음매가 적고, 최선의 세정 효과를 기대할 수 있습니다.
● 재질은 SU304,316,316L의 3 종류에 대응 가능합니다. |
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■ 세 정조 특징 |
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● 석영 조에 직접 진동자를 접착 한 석영 초음파 목욕을 상품화. 기존의 이중 조식에 비해 강력한 초음파 (당사 대비 1.2 배 이상)을 조사합니다. 이것은 카이죠 만의 기술입니다.
● 사용 유체 온도에 따라 상온 (50 ℃ Max), 고온 (80 ℃ Max)의 2 종류의 대응이 가능합니다.
● 스테인레스 탱크 제작 해드립니다. |
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네오닉스 시스템은 KAIJO 社의 모든 제품을 취급하고 있습니다.
홈페이지에 없는 제품들은 귀사로 문의 해주세요. ☎ 052-288-6801 |
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