|
|
|
|
|
|
|
ThermoRack 1200 |
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
 |
|
|
플라즈마 식각에 대한 궁극적 인 냉각기 |
|
|
|
|
|
|
|
ThermoRack 1200은 19 "특별히 설계된 열전 순환 냉각 랙 마운트입니다 : |
|
|
|
● |
반도체 제조 |
|
|
|
● |
플라즈마 에칭 |
|
|
|
● |
플라즈마 재 |
|
|
|
● |
태양 전지 및 플랫 패널 디스플레이 제조 |
|
|
|
|
|
|
|
|
▶ 성능 |
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
 |
|
|
 |
|
|
 |
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
▶ 사양 |
|
|
|
-10 ° C ~ 80 ° C |
|
|
주위 온도 : |
10 ° C ~ 40 ° C 비 응결 |
|
|
안정성 / 반복 : |
일정 하중에서 (심지어 주변의 가까이에) 0.05 ° C에서 ± |
|
|
냉각 용량 : |
20 ° C의 설비 물을 20 ° C @ 1340 와트까지 |
|
|
난방 용량 : |
20 ° C의 설비 물을 20 ° C @ 2000 와트까지 |
|
|
냉각수 /
공정 유체 : |
글리콜 / 물 혼합, 플루 / Galden 또는 HFE |
|
|
유체 피팅을
처리 : |
1/2" Swagelok |
|
|
펌프 : |
14 LPM (3.7 GPM) HFE 30 PSIG @ |
|
|
탱크 용량 : |
2 레벨 센서와 5.7 리터 (1.5 갤런) |
|
|
시설 물 : |
냉각수 4-8 LPM (1-2 GPM) @ 10-35 ° C 여과 처리 재순환 시설 |
|
|
시설 물
피팅 : |
1/2" Swagelok (316 스테인레스 스틸) |
|
|
N2 / CDA
(선택 사항) : |
500 SCCM -30 ° C 이슬점 이하 CDA 또는 N2,
저온 작동 30-60 PSIG (2-4 바) |
|
|
유체가
접촉되는 재료 : |
공정 : 알루미늄, 스테인리스 스틸 및 중합체
시설 : 테프론은 양극 처리 된 알루미늄을 함침
스테인리스 |
|
|
크기(가로 x
세로 x 높이) : |
19" x 24" x 8.7" 5U (48.3 x 61 x 22.1 cm) |
|
|
무게 : |
70파운드 (31kg) |
|
|
전원 입력 : |
200-240 VAC 1 단계, 50 Hz에서, 10A 최대 |
|
|
회로 차단기 : |
30mA의 GFCI와 16A 200 ~ 250 VAC 2 극 |
|
|
원격 EMO : |
외부 접점 |
|
|
통신 : |
램 아날로그, AMAT의 CHX 및 전화 유니티 II |
|
|
알람 : |
온도, 오일 레벨, 시스템 또는 구성 요소
실패 (디스플레이, 접점 및 기계 인터페이스 |
|
|
표준 : |
세미 S2-0200, F47 준수, CE,
UL에 나열된 TUV, CAN / CSA 및 EN 61010-1 |
|
|
|
|
|
|
|
|
네오닉스 시스템은 SOLID STATE 社의 모든 제품을 취급하고 있습니다.
홈페이지에 없는 제품들은 귀사로 문의 해주세요. ☎ 052-288-6801
|
|
