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| 제품명 |
가스 치환로 확산로 |
| 메이커 |
ASH |
| 간략설명 |
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◆ 가스 치환로 확산로 |
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형식 |
ARF-13A 형 |
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시료 치수 |
50φ 이내 |
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노 수 |
1 개 [52φ × 500mmL] |
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사용 범위 온도 |
상온 ~ 1100 ℃ |
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최고 온도 |
1150 ℃까지 |
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승온 시간 |
상온 ~ 1100 ℃까지 약 30 분 |
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히터 |
1 존 식, 캉탈 선 |
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가스의 종류 |
산소, 질소, 아르곤 |
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설비 전원 |
AC200V12A |
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※ 기재의 온도 값은 무부하시의 측정 데이터에서 보증 값은 아닙니다. |
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형식 |
ARF-13A-300-40kc-1P |
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시료 치수 |
** φ 이내 |
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가열 부 치수 |
36φ × 250 |
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사용 범위 온도 |
상온 ~ 1100 ℃ |
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최고 온도 |
1150 ℃까지 |
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승온 시간 |
상온 ~ 1100 ℃까지 약 30 분 |
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히터 |
1 존 식, 캉탈 선 |
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가스의 종류 |
산소, 질소 등 |
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설비 전원 |
AC100V 15A |
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※ 기재의 온도 값은 무부하시의 측정 데이터에서 보증 값은 아닙니다. |
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형식 |
ARF-112-4 형 |
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시료 치수 |
2 인치와 3 인치 가능 |
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노 수 |
[ID70φ × 2 개]
[ID90φ × 2 개] |
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사용 범위 온도 |
상온 ~ 1100 ℃ |
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최고 온도 |
1150 ℃까지 |
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승온 시간 |
상온 ~ 1100 ℃까지 약 60 분 |
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히터 |
3 존 식, 캉탈 선 |
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석영 연소관 |
[ID70φ × 1000L]
[ID90φ × 1000L] |
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가스의 종류 |
산소, 질소, 아르곤 |
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※ 기재의 온도 값은 무부하시의 측정 데이터에서 보증 값은 아닙니다. |
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형식 |
ARF-151-135-Ⅲ 형 |
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시료 치수 |
4 인치 웨이퍼 25 장 : 1 차지 × |
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노심 관의 치수 |
ID135φ × 1400mmL × 2 식 |
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사용 범위 온도 |
상온 ~ 1000 ℃ |
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최고 온도 |
1200 ℃까지 |
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균 열대의 길이 |
± 5 ℃ 중앙부 350mm |
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히터 영역 |
180φ 250 × 350 × 250mmL |
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전기 용량 |
AC200V 5.5Kw |
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※ 기재의 온도 값은 무부하시의 측정 데이터에서 보증 값은 아닙니다. |
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형식 |
ARF-150 형 |
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시료 치수 |
3 인치 웨이퍼 가능 |
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노 수 |
[ID93φ × 1 개] |
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사용 범위 온도 |
상온 ~ 1100 ℃ |
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최고 온도 |
1200 ℃까지 |
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승온 시간 |
상온 ~ 1100 ℃까지 약 60 분 |
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히터 |
3 존 식, 캉탈 선 |
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석영 연소관 |
[ID93φ × 1200L] |
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가스의 종류 |
산소, 질소, 수소, 아르곤 |
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※ 기재의 온도 값은 무부하시의 측정 데이터에서 보증 값은 아닙니다. |
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